3月28日,由复旦大学主办,SGS通标标准技术服务有限公司、南京拓服工坊科技有限公司、上海国际绿色低碳概念验证中心共同承办的“半导体AMC气相分子污染物环境监测与质控”研讨会在上海国际绿色低碳概念验证中心成功举办。值此SEMICON China半导体盛会之际,本次论坛汇聚了50余位半导体行业的企业代表,深入分析AMC污染问题及其解决方案,共同探讨AMC污染监测与治理的最新技术突破,旨在推动半导体微环境监测与治理领域的技术创新与产业升级。
欧洲科学院院士、复旦大学特聘教授陈建民、国家技术转移东部中心副总裁朱江、TOFWERK首席运营官Christoph Eggimann为研讨会致开幕辞。
陈建民院士在欢迎辞中代表主办方向与会嘉宾表示热烈欢迎,并从学术引领与产业转化双重视角阐述了AMC治理的战略意义。他指出:“当前半导体工艺正快速革新,但AMC污染已成为制约高端芯片制造的关键瓶颈。长三角地区作为我国半导体产业集聚区,其环境治理经验具有重要示范价值,而产学研协同攻关是推动半导体微环境监测与治理领域发展的关键。复旦大学教授以上海国际绿色低碳概念验证中心为平台,正在推动多项AMC监测与治理技术的产业化应用。本次研讨会正是要打通从基础研究到工程应用的最后一公里,让学术创新真正服务于产业需求。”
国家技术转移东部中心副总裁朱江则从产业生态角度出发,指出:“半导体产业是支撑国家战略发展的核心领域,而AMC监测与治理是保障其安全稳定的重要环节。国家技术转移东部中心与上海国际绿色低碳概念验证中心将充分发挥‘科技成果转化全链条生态体系’优势,整合技术转移、科技金融、产业孵化等全链条资源,为半导体产业的技术突破提供有力支撑。”
TOFWERK首席运营官Christoph Eggimann在致辞中表示:“作为20年历史的瑞士质谱技术领军企业,公司始终致力于高精度空气质量监测设备的研发与创新。中国半导体行业的蓬勃发展全球有目共睹,TOFWERK希望能将欧洲积淀的精密检测技术与中国的产业化优势相结合,并且已在南京建立了完整的本地化服务体系。未来,将继续深化与全球合作伙伴的技术交流,共同推动监测标准的升级,为半导体产业的可持续发展构筑坚实的技术防线。”
研讨会围绕AMC监测与治理的核心议题,聚焦AMC污染的前沿技术与解决方案,邀请了SGS半导体超痕量实验室技术经理李宗河、复旦大学环境科学与工程系研究员王丽娜、TOFWERK技术总监谭稳、上海国际绿色低碳概念验证中心顾问及清正节能科技(北京)有限公司技术总监田松、复旦大学博士林景新五位专家分享了五大具有里程碑意义的技术成果。
在会议期间,与会嘉宾参观了上海国际绿色低碳概念验证中心,实地考察了万级洁净TOF-MS质谱室、热体感实验室及12间成果转化实验室,深入了解了其在绿色低碳与环保大健康领域的科技成果转化模式,以及“概念验证-中试孵化-产业落地”的全链条转化过程,通过实际案例感受概念验证中心在降低技术产业化风险、加速创新落地中的重要作用。
本次论坛为半导体AMC污染监测与治理领域的技术创新与产业合作搭建了重要平台,未来各方将继续深化产学研协同,共同推动半导体制造环境的优化与升级,为产业发展注入新动能。